Aktif Magnetron Sensör (AIM)

Aktif Magnetron Sensör (AIM)

AIM-X Ölçer, ters çevrilmiş bir magnetron ölçerdir. Kafa ve gösterge kontrolörü tek bir kompakt ünitede birleştirilmiştir.


AIM sensörleri, 10-2 ile 10-9 mbar vakum aralığında doğru bir ölçüm sağlar. Bu sensörler, bilimsel uygulamalardan endüstriyel işlemlere kadar geniş bir yelpazede sağlam ve güvenilir olduklarını kanıtlamıştır.

XL varyantları çok düşük bir harici manyetik alana sahiptir; bunlar, hassas analitik cihazlarla veya sensörün turbomoleküler bir pompanın yakınına monte edilmesi gereken uygulamalarda kullanımı için idealdir.


Sensör başında birleşmiş elektronik kısım: azalmış sistem maliyeti ve alandan tasarruf
Geniş aralıklı, düzenlenmiş, dahili güç kaynağı:
 – Standart d.c.’de çalışan +13,5 ila +36 V güç kaynakları
 – Voltaj dalgalanmalarına karşı toleranslı
Standart analog çıkış 0 ila +10 V d.c. ve sensör tanımlayıcısı
 – Bilgisayar veya PLC ile kolay arayüz
 – Arıza çıkışı sensörü
Yüksek vakumda veya kirletici koşullarda bile hızlı çalışma

Uygulamalar

  • Electron microscopy

  • Leak detection

  • Mass spectrometry

  • Surface analysis

  • Space simulation

  • Cryogenic research

  • Nanotechnology

  • Coating systems

  • Load lock

  • Transfer

  • Metrology

  • Lithography

  • PVD (physical vapour deposition)

  • Plasma etching

  • Implant source

  • CVD (chemical vapour deposition)