Geniş Aralıklı Vakum Sensörü (WRG)

Geniş Aralıklı Vakum Sensörü (WRG)

♦Alan ve bağlantı donanımı gereksinimini yarıya indiren kompakt bir çözüm


WRG sensörü atmosfer basıncından 10-9 mbar basınca kadar ölçüm sağlayan tek girişli ve doğrusal çıkışlı bir ölçüm sensörüdür. Pek çok uygulamada önemli olabilecek alan ve bağlantı donanımı gereksinimini yarıya indiren kompakt bir çözüm sağlar.

WRG buton kalibrasyonu ve ayar noktası kontrolleri gibi birçok yeni özelliğe sahiptir. WRG, bir Edwards kontrol cihazıyla birlikte kullanıldığında veya doğrudan sistem kontrollerine entegre edildiğinde uygun maliyetli bir vakum yönetimi sağlar. Bu sensör, özellikle hızlı pompalanan sistemler üzerindeki basıncı izlemek için uygundur.


Tek tuşlu atmosfer ayarı
Gömülü elektrik konnektörü içeren ultra kompakt tasarım
Bazı hassas uygulamalar için düşük manyetik alan versiyonu (SL) mevcuttur, örn. kütle spektrometresi ve mikroskopi
Kolay teknik servis; hem Pirani hem de magnetron elemanları ayrı ayrı değiştirilebilir
Kapsamlı arıza modu tanılama olanağı

Uygulamalar

  • Electron microscopy

  • Leak detection

  • Mass spectrometry

  • Surface analysis

  • Space simulation

  • Cryogenic research

  • Nanotechnology

  • Coating systems

  • Load lock

  • Transfer

  • Metrology

  • Lithography

  • PVD (physical vapour deposition)

  • Plasma etching

  • Implant source

  • CVD (chemical vapour deposition)

  • Flat panel display

  • LED